蒸馏法是将含有芳香物质的植物部分（花朵、叶片、木屑、树脂、根皮等）放入一个大容器（蒸馏器），放在容器底部，加热燃烧或通入蒸汽。当炙热的蒸气充满在容器里，精油就会因蒸汽的热度而突破植物的储油细胞释放出来，而带有植物精油的水蒸气通过上方的冷凝管进入冷凝器内，蒸汽冷却转化为油水混合液后流入油水分离器。再依比重与密度的差异，分离为精油与水。水分当中或多或少都有些精油溶在里面，就是所谓的花水，也称为纯露。接着用分液漏斗进一步把精油和纯露分开存放。

蒸馏法是萃取芳香植物精油最常用的方法，95%的芳香植物精油是由蒸馏法萃取而得。蒸馏法的优势是器材相对简单和成本相对低廉，但是这种方法有可能减损精油香味和部分化学成分。

蒸馏法适用于玫瑰油、薄荷油等挥发性较强，不溶于水的芳香油。

蒸馏法又分为水上蒸馏、水中蒸馏、水蒸气蒸馏，应该根据不同的原料的特性选择蒸馏方法。